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8.5″帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

簡要描述:8.5″帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號:GSL-1100X-8.5-SR
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-07
  • 訪  問  量:2542

詳細介紹

 

產(chǎn)品型號

  8.5帶滑動法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

主要特點

  1、雙層殼體,配有循環(huán)風冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

  2、滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。

  3、設有K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。

  4采用PID控制器 ,可以設置30段升降溫程序。

  5右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

  6、已通CE認證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:單相220V  8KW

  2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長1300mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:900mm

  5、恒溫區(qū)域3500mm

  6、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

  7、zui大升降溫速率:10/min

  8、控溫精度:±1

  9、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

  10熱偶檢測真空接口:KF-25口:1

  11、進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

  12、爐體:1300mm×680mm×920mm

  13滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標準配件

1

  石英管堵

1

2

  KF-25真空擋板閥

1

3

  KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

  1、軟件接口模塊和PC

  2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準)

  3冷水機

  4、高速雙極旋片泵

  5、數(shù)顯真空計

  6、高真空機組(機械泵和渦輪分子泵)

  5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

  6、石英樣品架

  7、可移動爐架(800mm×600mm

 

 

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